细长不锈钢管内表面沉积的类金刚石碳膜性能研究

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【摘要】

：

类金刚石膜(DLC)具有与金刚石膜相似的许多优异性能,例如高硬度、高耐磨性、低摩擦系数、抗化学腐蚀性等等,因此在金属管内表面沉积类金刚石薄膜有着重要的工业应用前景。如何在大长径比的细长金属管内形成均匀、高密度的等离子体并实现金属管内表面改性是目前的一个技术难题。我们实验室针对内径小于10mm的金属管开发一种利用直流辉光等离子体的金属管内表面改性技术。本研究的目的是利用这一技术研究在内径10mm的3

【作者】

：

汪俊

【机构】

：

大连理工大学

【发表日期】

：

2009年05期

【关键词】

：

不锈钢管内表面类金刚石薄膜直流辉光等离子体腐蚀性能硬度

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