【摘 要】
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干涉条纹分析是现代干涉测量技术中的关键步骤,通过分析干涉条纹可以获取条纹半径、条纹间距、条纹周期、条纹对比度等有效信息,运用这些有效信息可以进一步完成波前探测、表
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干涉条纹分析是现代干涉测量技术中的关键步骤,通过分析干涉条纹可以获取条纹半径、条纹间距、条纹周期、条纹对比度等有效信息,运用这些有效信息可以进一步完成波前探测、表面粗糙度测量、光学镜面检测、应变及位移测量、速度等测量。本论文将运用图像处理方法对牛顿环干涉条纹半径、干涉直条纹的间距进行测量和分析。针对牛顿环干涉条纹,提出一种基于区域重心法、极坐标转换和灰度水平投影的牛顿环半径测量方法。该方法首先运用区域重心法获取牛顿环干涉条纹的公共圆心;然后根据该公共圆心对牛顿环干涉条纹图像进行极坐标转换;最后对转换结果进行灰度水平投影,从而得到待测牛顿环各级条纹的半径。该方法绕开了直接通过牛顿环干涉条纹轮廓图像获得各级条纹半径,数值仿真表明,该方法可以保证在随机噪声的影响下条纹半径的测量精度小于0.5像素。同时,针对干涉直条纹,提出一种基于傅立叶变换、极坐标变换和灰度方向投影的干涉直条纹间距测量方法。该方法首先运用傅立叶变换所得功率谱以及极坐标转换获得干涉直条纹的倾斜方向,然后根据倾斜方向对干涉直条纹进行灰度方向投影,从而得到干涉直条纹的间距,该方法避开了图像预处理步骤而获得干涉直条纹间距,数值仿真表明,该方法保证条纹间距测量精度小于1像素。另外,为了验证所提方法的有效性和可靠性,分别通过实验装置获取牛顿环干涉条纹图和干涉直条纹图像,并用所提方法对牛顿环干涉条纹半径和干涉直条纹间距进行测量,测量结果表明了上述方法具有可行性和可靠性。
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