【摘 要】
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建立了一套低压热壁MOCVD铁电薄膜制备系统.该系统由输运系统、气动系统、加热系统、反应系统、排气系统以及电路控制等部分组成,包括两套低压热壁反应系统,三路气态输送系统
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建立了一套低压热壁MOCVD铁电薄膜制备系统.该系统由输运系统、气动系统、加热系统、反应系统、排气系统以及电路控制等部分组成,包括两套低压热壁反应系统,三路气态输送系统和一路液态输送系统,可大大缩短铁电薄膜的研制周期并可根据需要制备多组元铁电薄膜.建立了热释电红外探测器动态响应测试系统,对该系统的一些主要参数进行了研究.研究了PZST反铁电陶瓷在不同温度和偏置电场下的动态热释电响应特性.测试和研究了PT铁电薄膜的电滞回线和动态热释电响应,并对铁电薄膜的归一化探测率D<*>进行了计算.
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