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本文针对如何利用 Leybold APS 1104 DWDM 镀膜机制备多层非规整薄膜滤光片进行了深入的研究。 首先,学习了薄膜光学中的一些基本理论与技术,包括薄膜光学特性计算、膜系设计、薄膜制备三个主要方面。 接着,从离子源、蒸发源、真空获得、膜厚监控等方面详细分析了 LeyboldAPS1104 DWDM 的工作特性以及它与普通镀膜机的不同点,并从这些适合于制备DWDM