【摘 要】
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为了实现不锈钢表面的固体润滑,提高不锈钢表面的耐磨性,该文采用等离子体基离子注入(PBⅡ)技术,在不锈钢基体上制备了注N层/TiN/注C层/DLC(最外层为DLC)多层膜以改善DLC膜与
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为了实现不锈钢表面的固体润滑,提高不锈钢表面的耐磨性,该文采用等离子体基离子注入(PBⅡ)技术,在不锈钢基体上制备了注N层/TiN/注C层/DLC(最外层为DLC)多层膜以改善DLC膜与基体之间的结合力,提高基体表面的承载能力;并用金属蒸气真空弧放电(MEVVA)离子源,在不锈钢上进行多种离子的复合注入,以增加注入层深度和强化范围.这对于在不锈钢表面获得高硬度、高耐磨的膜层及此类材料的膜层设计均具有指导意义,对扩展DLC膜的应用范围、实现不锈钢的低摩擦和固体润滑具有重要的实际意义.
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