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高性能微光器件Al2O3薄膜实质上就是在三代像管中微通道板（MCP）输入面上制备的一层超薄连续膜。该膜能够有效地阻止离子反馈，对延长像管的寿命具有重要意义。 本文简单介绍了光电成像技术及MCP技术的发展概况，并探讨了像管中离子反馈机理及离子反馈对成像质量和像管寿命的影响，详细论述了防离子反馈膜的电子透过及离子阻挡机理。 在防离子反馈膜制备技术的研究中，详细分析了传统工艺存在的一些技术问题以及碳污染的形成机理，并进行了免污染新技术的方案探讨，用免污染新工艺制备了防离子反馈膜并进行了性能测试。另外，本文还对真空烘烤对带膜微通道板性能的影响进行了实验研究，对像管及MCP的寿命进行了初步研究探索。本文还通过实验和理论分析对Al2O3防离子反馈膜的电子透过和离子阻止特性进行了深入的研究。