蠕动进给超声磨削技术将成为工程陶瓷加工技术发展的新方向,为了进一步推动该项技术的发展和应用,本文在改装成的超声磨削机床上进行了Al₂O₃陶瓷超声磨削与普通磨削的对比试验。本研究采用电镀金刚石砂轮、选择一定的磨削工艺参数和磨削方式进行对比试验,并根据实验结果对磨削表面粗糙度、磨削表面形貌及磨削效率进行了分析研究。首先对原有超声磨削装置从刚度、精度和系统运动稳定性等方面进行改进。增加了一些新设备和夹具以确保超声磨削过程的稳定性。其次,分析了采用蠕动进给超声振动磨削Al₂O₃陶瓷的表面质量,推断出材料去除机理。实验表明,当超声振动方向与磨削进给方向相同时,超声振动所引起的抛磨作用非常显著,超声磨削的表面粗糙度值比机械磨削的低。实验还发现,Al₂O₃陶瓷超声磨削的去除方式仍属于脆性断裂,以晶粒粉碎、穿晶断裂为主,但伴随有沿晶断裂、弹性划擦、塑性流动等现象。同时,根据实验数据和磨削表面形貌,分析了蠕动进给超声磨削Al₂O₃陶瓷的磨削特性,为进一步研究陶瓷蠕动进给超声磨削技术提供了理论和实验依据。