【摘 要】
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本文针对大口径非球面光学元件抛光,系统地分析了抛光机理,并归纳总结了国内外发展动态。重点对计算机控制小工具抛光加工方法进行了深入的分析和研究,根据Preston方程,建立
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本文针对大口径非球面光学元件抛光,系统地分析了抛光机理,并归纳总结了国内外发展动态。重点对计算机控制小工具抛光加工方法进行了深入的分析和研究,根据Preston方程,建立两种运动方式的数学模型,对基于加工仿真的表面去除函数的模拟,得出了抛光加工工艺参数;经实际加工结果与模拟结果基本吻合,验证了此模拟优化方法的可行性,对实际的加工具有一定的指导性;同时对工件加工的边缘效应做了一定的分析,得出解决方法。制备出的光学玻璃元件达到的技术指标为:K9非球面光学镜片330mm×330mm,面形精度可达到λ/5;表面粗糙度Rq≤1.5nm。
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