【摘 要】
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本论文制备了主客掺杂型极化聚合物材料DR1(分散红-1)/SU-8和侧链键合型杂化材料DR19ASD(分散红-19烷氧基硅烷染料),对材料的吸收谱、折射率、成膜平整度等参数进行了测量。
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本论文制备了主客掺杂型极化聚合物材料DR1(分散红-1)/SU-8和侧链键合型杂化材料DR19ASD(分散红-19烷氧基硅烷染料),对材料的吸收谱、折射率、成膜平整度等参数进行了测量。通过调节材料配比,我们制备出稳定的适合于制作电光开关的材料。然后通过光刻、显影、反应离子刻蚀、真空蒸镀等工艺制作了DR1/SU-8材料的倒脊形波导和DR19ASD侧链键合杂化材料的加载条形波导,实现了良好的通光效果。并在波导上制作共面波导(CPW)行波铝电极,利用我们组自主组建的极化装置进行线状电极电晕极化,使材料具有电光效应,完成整个开关器件的制作。最后对器件的调制和开关响应进行了测试。对于用DR1/SU-8作为电光材料制作的开关,得到了在100kHz输入信号下的调制响应信号和在10kHz输入信号下的开关响应,开关速度达到了6μs。对于用DR19ASD侧链键合型杂化材料制作的电光开关,开关响应不明显,我们只得到了调制效果。PMMA加载条形器件的调制效果稍好一些,可以得到10kHz输入信号下稳定的调制输出,在50kHz下也有调制现象,但是波形不稳定;SU-8加载条形器件的调制效果较差,只在1kHz下有响应。虽然我们所制作的电光开关的性能指标相比国际先进水平还有较大差距,但是我们的电光材料为自主配制的材料,合成周期较短,成本较低。对于器件的各项指标,我们可以通过进一步优化来提高,材料的应用前景是非常广阔的。
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