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阵列光学及微透镜阵列技术研究
阵列光学及微透镜阵列技术研究
来源 :浙江大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wenfei87827
【摘 要】
:
该文对折射型微透镜阵列(MLA)的光学特性、制作技术进行了详细的研究.分析了微透镜阵列在现代光学系统中表现出来的阵列光学特性:非成像特性和阵列成像特性.在此基础上,提出
【作 者】
:
许乔
【机 构】
:
浙江大学
【出 处】
:
浙江大学
【发表日期】
:
1997年期
【关键词】
:
微光学
微透镜阵列
阵列光学
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该文对折射型微透镜阵列(MLA)的光学特性、制作技术进行了详细的研究.分析了微透镜阵列在现代光学系统中表现出来的阵列光学特性:非成像特性和阵列成像特性.在此基础上,提出了用光刻热熔法和反应离子束蚀刻法来制作折射型的微透镜阵列,并成功研制了红外材料上的微透镜阵列.
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