干式真空泵也称无油真空泵，是为了满足工业生产对真空环境越来越严格的要求而发展起来的新型真空获得设备。螺杆型干式真空泵以其优良的抽气性能得到迅速发展。由于国内螺杆干泵的研究起步较晚，同类产品全部依靠进口，价格十分昂贵。因此本文以螺杆型干式真空泵为研究对象，对泵的结构设计和产品开发，以及转子型线、转子变形、转子固有特性、运动学仿真进行了研究，对实现产品的国产化具有重要的理论意义和现实指导作用。 本文简要地论述了螺杆泵的基本结构、抽气过程、密封条件以及气体泄漏通道，并详细计算了泄漏面积，给出了单头等螺距齿转子的几何特性，如面积利用系数、几何抽速、极限压力等计算方法。在此基础上，对面积利用系数、几何抽速和极限压力计算公式中的重要变量进行比较分析，并且考虑了加工、制造的可行性，得出最优的变量范围，最后对转子的热力学性能及影响因素进行了讨论。 本文给出了 81/s 立式螺杆型干式真空泵的结构设计方案，确定了泵的主要参数和基本尺寸，画出了工程图并制造出了该真空泵。通过对该泵调试，找出了调试过程中出现的问题以及解决办法。 利用PRO/E和ANSYS软件，建立了整体的螺杆转子有限元分析模型，对螺杆转子进行了静、动态特性分析，得到转子的固有频率和振型。 借助有限元计算软件ANSYS对螺杆转子进行了变形有限元计算，有限元计算采用与实验所用转子尺寸一致的三维几何模型，对其进行了刚度和强度分析；找出了转子变形的原因，提出了改进措施。之后，综合考虑热膨胀、气体压力、旋转惯性力对转子变形的影响，利用 ANSYS 对改进的转子进行力-热耦合的变形分析，求出转子最大变形量和最大应力。 对变形转子的变形量进行测量并进行数据处理，实验结果验证了有限元计算方法的可行性和结果的合理性。 基于PRO/E MECHANISM模块的干涉检查功能进行了螺杆转子的空载状态下静、动态的干涉检查。