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椭圆偏振测量仪是一种用于研究和测定薄膜以及材料光学性质的重要工具。其工作原理为：以一束偏振光入射到待测样品的表面，让其与待测样品之间发生相互作用(譬如反射、透射和散射等)，这些相互作用将会使其自身的偏振状态发生变化，通过检测该偏振光偏振状态的变化，便可确定或者计算出待测样品的厚度以及光学参数等信息。椭偏仪测量分辨率可以达到0.1的重复精度，而其准确性主要通过系统中的偏振器的物理信息校准保证；因此，系统校准方法决定了椭圆偏振的准确性。另一方面，随着时间和环境的变化，尤其在工业生产环境中，其系统