论文部分内容阅读
微电子工艺是IC工业的基础，IC工业关系着国家的经济发展，信息安全，军事安全。而我国微电子工艺核心技术，关键设备仍受制于人。高校教学资源有限，无法提供高质量教学。而虚拟现实(VR)技术的发展则给这些需要昂贵的花费，高成本的教学课程提供了新的方法和途径。本文对如何将VR技术用于微电子工艺课程教学进行了研究，并提出了分析和撰写VR课程可视化流程脚本，根据可视化流程脚本进行VR课程素材设计制作和VR场景搭建，VR课程架构设计和程序开发设计的流程。并在Cardboard和Android平台下实现了微电子工艺中单晶硅生长和衬底制备VR课程；Oculus和PC平台下实现了微电子工艺中光刻工艺VR课程。本文研究的主要内容如下： (1)对微电子工艺课程进行归纳，总结。并选取了光刻工艺课程、单晶硅生长和衬底制备课程进行详细的分析，总结。对VR技术的硬件体系和关键技术进行研究和介绍，并对VR适用于微电子工艺课程教学进行了分析。 (2)对VR开发的基本原则进行了分析。基于Cardboard和Android硬件平台，对单晶硅生长和衬底制备VR课程进行了可视化流程脚本设计和撰写；对单晶硅生长和衬底制备VR课程的教学素材进行设计和制作，VR教学场景搭建；对单晶硅生长和衬底制备VR课程的课程架构进行设计和程序开发。实现了基于Cardboard和Android硬件平台的单晶硅生长和衬底制备VR课程。 (3)基于Oculus和高性能PC硬件平台，根据硬件平台特性，对光刻工艺VR课程进行了可视化流程脚本设计和撰写；对光刻工艺VR课程的教学素材进行设计和制作，VR教学场景搭建；对光刻工艺VR课程的课程架构进行设计和程序开发。实现了基于Oculus和高性能PC硬件平台的光刻工艺VR课程。 (4)对Cardboard和Android平台下单晶硅生长和衬底制备VR课程、Oculus和PC平台下光刻工艺VR课程进行了性能测试和教学测试，并给出分析结论。