半导体光学放大器的研制和窄条宽选区-MOVPE技术的开发

来源 :中国科学院半导体研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiahongtao
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半导体光学放大器是下一代全光网中的核心多功能信号处理部件.因此,以减小偏振相关损耗,降低操作电流、提高饱和输出功率、扩大带宽、降低噪声指数和提高效率等性能改善为目标的半导体光学放大器的研制成为光电子器件研发的热点.该论文立足于国内条件,围绕半导体光学放大器的制备从渐变应变有源区结构的采用和窄条宽选区-MOVPE生长技术开发两个角度出发,开展了如下具有创新性的工作:一采用渐变应用有源区结构,研制成功半导体光学放大器.二、在国内首次有用窄条宽选区-MOVPE技术,制备高质量InP基多层异质结构外延薄膜材料,为功能集成薄膜材料的生长开拓了一条有效的途径.
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