随着产品向微型化方向的进一步发展,各行各业对高精度高质量小微零件产品的需求正在日益增加。在微冲裁件制造领域,传统的机械成形方式由于微小模具加工成本较高,以及凸、凹模精确对中较困难等问题的存在,其生产与应用一直受到限制。本文提出了一种新型的冲裁成形方法——金属薄板超声辅助微冲裁（Ultrasonic Assisted Micro-shear Punching,简称UMSP）,引入超声振动并以粘性介质代替刚性冲头,避免对中问题,能加工微观到宏观尺度的各种异形孔。本文利用UMSP方法对X10CrNi18-8不锈钢（德国DIN标准进口不锈钢）和非晶合金进行微冲裁实验探究。本文的主要工作包括:（1）使用20?m不锈钢薄板制备了制件尺寸分别为Φ300?m、Φ500?m、Φ750?m单孔冲裁件和3x3-Φ300?m的圆孔阵列件。对不锈钢薄板进行微冲裁实验,利用冷镶嵌的方法制作了其典型成形过程形貌;观测了UMSP方法冲裁制件的断面形貌,实验结果表明,由于材料为冷轧态呈现各向异性,因而在平行于轧制方向、垂直于轧制方向以及两者之间的断面分别呈现出不同的断面特征。此外,还研究了超声对材料的软化作用,结果表明施加超声后冲裁力减小了20%;（2）使用厚度为25?m的Fe₇₈S_i9B₁₃条带制备了尺寸为Φ300?m-Φ750?m的微圆孔制件和一系列微观至宏观尺度的异形孔冲裁件。将UMSP方法应用于非晶材料,结果表明直径为Φ300?m、Φ400?m、Φ500?m、Φ600?m、Φ750?m的圆孔只需要在冲头压力分别为95 MPa、86 MPa、64 MPa、57 MPa和40 MPa时即可在极短的时间（0.05s）低应力成形,这是由于超声振动的存在使成非晶合金产生局部软化,从而使非晶合金能够完成低应力成形。又将该方法应用于La₆₀Al₂₀Ni₂₀、La₅₅Al₂₅Ni₅Cu₁₀Co₅、Al₈₆Ni₉La₅、Fe₇₈Si₉B₁₃和Cu₅₀Zr₅₀等5种非晶合金,在低应力条件制备了多个异形孔冲裁件,进一步验证了本方法对于非晶合金冲裁成形的广泛适用性。