针对微波滤波器等微波无源器件对高温超导薄膜的需求,本论文使用光辅助MOCVD法,围绕大面积YBCO外延膜的制备进行了一系列的初步研究工作。本论文设计了不锈钢反应室的光辅助MOCVD系统,解决了系统中影响薄膜制备重复性的多个问题。其中包括铜和钇固态金属有机源在源炉盖上易凝结导致的称量不准确的问题;多个卤钨灯之间相互炙烤造成的卤钨灯使用寿命短的问题;由于腔体过高造成的转轴摆动和大量固态有机源在腔体下部沉积的问题。此外,独立进行了多个卤钨灯产生的光辐射照度的理论计算和计算机模拟。使用此光辅助MOCVD系统,进行了大量YBCO薄膜的制备实验,对制备高质量c轴向YBCO外延膜的系统参数进行了优化。讨论了MOCVD法制备YBCO外延膜的生长机理,并基于此解释了a轴向和c轴向YBCO外延膜的典型形貌。成功制备了各方面指标比较均匀的直径1”YBCO外延薄膜(约600 nm),厚度差异在10%以内,具有优异的超导性能(J_c＞2 MA/cm~2(0T,77K))和微波传导性能(R_s＜0.4mΩ(10GHz,77K))。成功制备了直径2"的高质量YBCO外延薄膜,具有优越的超导能(J_c＞1 MA/cm~2(0T,77K))和良好的微波传导性能(R-s≈0.5 mΩ(10GHz,77K))。