巨磁阻抗薄膜材料的制备新方法与检测系统的设计

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巨磁阻抗(Giant Magneto-impedance,GMI)效应即材料交流阻抗随外加磁场变化可显著改变的物理效应。利用巨磁阻抗效应制作的磁传感器在工程控制方面拥有广阔的应用前景。薄膜GMI传感器适合半导体电路的集成并可批量生产,能大大降低生产成本,因此研究软磁薄膜材料中的巨磁阻抗效应具有重要的价值。本文主要做了两方面的工作,一是采用新方法制备了巨磁阻抗薄膜并证明其可行性,二是设计制作了一套简易的巨磁阻抗效应检测系统。这两方面都是从经济实用的角度出发,目的是为了尽量降低成本。目前,在制
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