本论文的主要研究工作是纳米TiO₂薄膜的制备及其金属-半导体-金属（MSM）结构的光导型紫外探测器。首先,我们利用溶胶-凝胶法制备了纳米晶TiO₂薄膜材料,通过各种表征手段对不同热处理温度下的薄膜材料的性质进行研究,了解其结构和光学性质的变化规律,从而选择适宜的条件制备符合设计要求的基体材料。接着,我们讨论了紫外探测器的分类,对半导体探测器特别是光导型探测器工作原理及主要参数做了深入的分析和讨论。然后,利用射频磁控溅射法在TiO₂ 薄膜上溅射金属Al 形成欧姆接触,采用标准光刻技术形成叉指状电极。对TiO₂基紫外探测器的一些光电特性作了初步的测试,发现探测器在230-280nm 的紫外波段有较好的响应。在250nm 波长处我们测量了响应度和外加偏压的关系,响应度随外加偏压的增加而近似线性增加,在5V 时达到饱和。