微观粗糙表面黏着的数值模拟与实验研究

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随着微机械电子技术的不断发展,微机电系统(MEMS)逐渐成为一个重要的研究领域,对于微纳米元器件和设备的使用也越来越广泛。与在宏观下不同,在微纳米尺度下物体主要是受到表面效应,其中黏着力是MEMS器件在使用和制造过程中主要的失效形式。影响表面黏着力大小的因素有很多,表面粗糙度是其中一个重要的因素。本文在课题组原有成果基础上,研究样品粗糙度对黏着力的影响,主要工作如下:(1)分析对比了经典黏着理论以及考虑了粗糙度的黏着模型Rumpf模型以及Robinovich模型,给出了Robinovich模型的Ma
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