印染废水经常规工艺处理后，尾水已基本达到排放标准。印染废水尾水回用率较低，且水中含有残存毒害性有机物（如苯系物），排放到水体存在潜在危害。尽可能削减这类物质，降低对排放水体的生态风险，具有前瞻性意义。因此，开发新的高效且无二次污染的印染废水深度处理技术具有现实意义。本文采用臭氧氧化法和VUV/US耦合工艺对印染废水尾水分别进行深度处理。考察臭氧氧化过程中各主要因素对印染废水处理效果的影响规律，确定臭氧氧化的最佳处理条件和适用范围，利用响应面分析法分析各影响因素排序，提出优化处理的调控策略，解释臭氧氧化对TOC和UV254的降解动力学。比较不同功率下VUV、US和VUV/US降解印染废水尾水的效果，确定VUV/US耦合体系的最佳功率组合，探讨反应时间、反应温度、初始pH值对VUV/US降解印染废水尾水效能的影响规律，解释VUV/US对TOC和UV254的降解动力学。通过分析降解产物，揭示臭氧氧化法、VUV/US耦合体系对印染废水尾水中残余难降解有机物的去除机理。比较两种方法对印染废水尾水的处理效果。得到如下主要结论。VUV/US耦合体系对印染废水尾水的处理效果优于臭氧氧化法,且体系稳定性优于臭氧氧化法。臭氧氧化法降解动力学复杂，不能够用表观零级、一级、二级动力学进行拟合。VUV/US耦合体系对TOC去除动力学符合表观二级动力学，对UV254去除动力学符合表观一级动力学。通过水质分析知，VUV/US耦合体系能够完全降解苯系物有毒物质，而臭氧氧化法处理后的水仍残留少量苯系物，这是因为VUV/US耦合体系的主要通过产生羟基自由基与有机物发生氧化作用，臭氧氧化法主要通过臭氧分解产生氧原子与有机物直接发生氧化作用。