近等原子比TiNi合金薄膜的制备与马氏体相变机理的研究

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【摘要】

：

本论文主要研究近等原子比TiNi合金薄膜的制备工艺以及TiNi合金薄膜在动态加热、冷却过程所发生的相变,揭示了TiNi合金薄膜从奥氏体到马氏体的演变过程。论文主要通过自制TiNi合金靶材,并运用磁控溅射法来制备TiNi合金薄膜,而且对薄膜进行晶化处理,并在X射线衍射、透射电子显微镜、扫描电子显微镜等现代分析手段观察TiNi合金的组织及表面形貌,最后再通过动态加热、冷却来观察TiNi合金薄膜中的相变

【作者】

：

高坤

【机构】

：

西安理工大学

【发表日期】

：

2006年03期

【关键词】

：

TiNi合金薄膜磁控溅射晶化处理马氏体相变

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