【摘 要】
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在现代光学薄膜生产中,减反射薄膜是所有类型膜系中产量最大的一种,但是常用的制膜方法,如物理气相沉积及化学气相沉积等,制备大面积减反射薄膜成本较高,同时所生产的薄膜大多为多
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在现代光学薄膜生产中,减反射薄膜是所有类型膜系中产量最大的一种,但是常用的制膜方法,如物理气相沉积及化学气相沉积等,制备大面积减反射薄膜成本较高,同时所生产的薄膜大多为多层膜体系,工艺较为烦琐,且所用基底材料大多为玻璃、石英或硅片,应用受到限制。本文分别配制TiO2和SiO2溶胶,并以此为原料采用涂布法在超大面积PET薄膜上制备减反射光学薄膜。研究过程中,用球磨法配制TiO2纳米粉溶胶,研究了影响球磨效果的因素。在用溶胶-凝胶法配制TiO2和SiO2溶胶研究中,讨论了配制过程中影响高折射率溶胶稳定性的因素。分别用甩膜法和提拉法制备TiO2-SiO2膜系减反射光学薄膜,确定了合适的制备工艺,为涂布法制备超大面积减反射薄膜奠定基础。最后,用涂布法在超大面积基底材料上制备得到TiNx-SiO2膜系光学薄膜,测试表明其减反射效果优于美国公司同类产品。由于成本低廉,工艺简单,操作方便,可批量生产,且其性能优良,该研究结果有望推进减反射薄膜的工业化进程。
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