随着电子信息和电视广播的迅速发展,以液晶显示器(LCD)为代表的显示技术凭借其纤薄轻巧的特点广泛应用于人类社会的各个领域。而玻璃基板作为液晶显示器的关键组成部件,其加工和运输的要求日益提高。在种类繁多的运输方式中,气悬浮运输由于无摩擦,不生热等优点代替了传统的接触式运输。而在气浮输运玻璃基板的过程中,由于气膜压力分布不均会导致玻璃产生形变,影响高速CCD相机的成像效果,从而无法精确检测薄膜晶体管(TFT)阵列的品质。因此在运输线上对玻璃基板的形变进行监控尤为重要。本文提出了一种基于气膜压力仿真与实测融合的方法对玻璃基板形变进行快速估算,并通过实验对方法的可行性进行了验证。本课题研究的主要内容和结论如下:首先,设计了一种气浮式无接触输运导轨,对导轨供应压缩空气后,会在物件和导轨之间形成用于支撑的空气薄膜,以此抵消重力实现悬浮。为了避免应力集中、静电污染等问题,采用了多孔质材料作为气浮导轨的节流元件,并在此基础上建立了包含间隙流动特性与多孔介质特性的数学理论模型,然后通过有限体积法(FVM)进行求解,计算出了间隙内的气膜压力分布。基于上述理论,搭建了多孔质气浮导轨实验平台,设计了压力分布测量装置,并分别通过有限元仿真和实验证明了数学模型计算的准确性。其次,依据数学模型,提出仿真与实测融合的方法预测玻璃基板形变,实验结果表明,以外侧实测点作为反馈会产生较大误差。为了探究产生误差的原因,搭建了测量装置以查看玻璃基板在不同变形程度下的气膜压力变化,结果表明,随着变形程度的增大,外部单元所计算的气膜压力会逐渐出现偏差,而内部能较好的与实际吻合。因此,改进预测方法选用内部单元多点压力反馈进行计算,然后在此基础上提出玻璃基板的二维形变预测方法,并分别通过实验对其可行性进行了验证。接下来,为了确定形变预测影响因素,改变算法边界条件,结果表明边界条件的变化会极大影响预测结果,因此提出了保证预测精度下的传感器允许测量误差。最后,对玻璃板在输运过程中会产生不对称形变情况进行了分析,确定当不对称系数小于0.2时,该形变预测方法依然有效,误差在3%左右,但当不对称系数过大时将会产生较大误差。最后,通过对间隙气膜抽气,实现了玻璃基板形变的调控。抽气量越大,玻璃基板的形变量越小,但总排气量不能超过总供气量的85%,否则会有损伤的风险。