微波电子回旋共振(ECR)等离子体镀膜技术是通过微波激励出高密度、均匀等离子体，借助于等离子体将特定物质沉积在介质基片表面，形成镀膜层。是低温等离子体应用的一个重要方向。　　文章分析了装置中等离子体分布与微波激励场模式之间的关系，进而确定圆波导中TE01模为最佳激励模式。论文重点论述了模式转换器组件的研制，该转换器可以在圆波导中激励TE01模，并抑制圆波导主模TE11模和其他低次模式。　　详细论述了模式转换器组件的设计理论、仿真优化计算、误差分析、样件加工、测试等问题。首先从耦合模理论分析入手，详细分析了模式转换器组件的设计原理和结构形式，采用侧壁耦合方式作为该组件的实现方式。然后通过仿真软件HFSS对模式转换器组件结构参数进行了仿真、优化和误差分析，设计出转换效率高达99.92％的转换器组件。并进行工程制图、工艺方案研究、组件加工、测试等一系列工作。依据测试结果，提出了完善和改进测试模式转换器转换效率的方式，并进行了相关的优化计算。　　本文测试结果与设计计算结果有较好的一致性，表明所设计的模式转换器组件是合理可靠的。