CCD光电探测器是一种硅基多通道阵列探测器,作为微型光谱仪的核心元器件之一,具有体积小、重量轻、响应快速和成像质量高等优点。然而CCD硅衬底层多晶硅电极对400nm以下的紫外光具有强烈吸收,所以入射的紫外光基本无法通过硅衬底,从而无法被探测到,CCD就不会产生响应。因此,提高CCD在紫外波段信号的响应能力是国内外科研工作者的一个研究方向,本文针对CCD在紫外和深紫外区域响应能力不足的问题进行深入研究,具体内容如下:首先,详细分析CCD光电探测器的基本工作原理、基本特性以及目前的发展现状,并对传统的增强CCD紫外响应能力的方法进行探讨。通常的紫外增强技术都是在CCD的表面保护玻璃(官方称玻璃窗)镀荧光膜,而保护玻璃与像敏面之间还有一段光程,散射和反射作用会造成光强减弱,降低量子效率,为此对CCD进行去窗技术的研究,去除玻璃窗。实验结果发现,CO2激光切割法是一种较好的去窗方法,其能在最小损伤CCD器件的前提下,快速、有效地将CCD保护玻璃去掉,为CCD紫外增强技术的研究奠定基础。其次,对CCD进行紫外响应增强技术的实验研究。根据膜层材料要求选择Lumogen Yellow S 0795有机荧光粉作为膜层材料,由于CCD属于较昂贵器件,所以采用真空蒸发法先行在玻璃基片上进行膜层样品的制作,得到最优膜层样品的实验参数,然后才在CCD像敏面上进行镀膜实验,该方案能减少实验成本、提高实验效率。实验结果表明,,当真空度为8×10-4Pa、蒸发电流为50A时,Lumogen材料成膜效果较好,膜层均匀、表面光滑不易分离。最后,采用一台微型光谱仪对紫外增强后的CCD进行性能检测分析,验证CCD紫外响应增强效果,选择低压汞灯和氘灯作为检测光源测定镀膜前后CCD的离散响应曲线图和连续响应曲线图并进行分析。结果表明,Lumogen荧光薄膜能极大提高CCD在400nm以下紫外区域波段的光谱响应能力,使普通前照式CCD在深紫外区域产生响应,在365.01nm波段的响应能力提高至原来的2.6倍以上,而253.65nm谱线处的光谱强度甚至在镀膜后达到饱和,其截止响应波长从306nm蓝移至235nm左右,并且不会影响400nm以上可见光的透过率。