Fe掺杂a-CNx薄膜制备及性能研究

被引量 : 0次 | 上传用户：xiaosongshu2009

【摘要】

：

非晶碳氮(a-CN_x)薄膜是一种新型的功能材料,有着优异的光学、电学、力学性质和良好的化学稳定性,在诸多领域里有着广泛的应用前景。本文采用等离子体化学气相沉积制备了 Fe掺杂a-CN_x薄膜,研究了 Fe掺杂浓度和工艺参数对薄膜形貌、结构及性能的影响,主要研究工作和结果如下:(1)随着H_2流量的增大,薄膜中Fe的含量逐渐增大(1-12%),薄膜的致密性提高;薄膜中的C-C键随着Fe的含量的增大

【作者】

：

毛娟

【机构】

：

西南科技大学

【发表日期】

：

2018年05期

【关键词】

：

a-CNx薄膜 Fe掺杂气相沉积微观形貌光致发光

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

聚氯代对二甲苯膜表面的润湿性及其水汽阻隔性能的研究

聚氯代对二甲苯膜（Parylene C膜，简称PPXC膜）因其优良的机械性能、介电性能、耐溶剂性和防潮性等，广泛应用于半导体器件、微电子器件、材料防潮保护等领域。但由于人们对电子器件

学位

PPXC膜纳米SiO2颗粒二甲基硅氧烷表面润湿性水蒸气阻隔性能

海洋微型浮游生物受到铁和氮限制的生理生态学研究及夏威夷海区破囊壶菌的生态调查

铁是所有好氧生物体内不可或缺的重要组成元素。由于当今海洋环境的富氧条件，铁在海水中变得非常稀缺，也因此被指出是高硝酸盐低叶绿素海区初级生产力和生物泵作用发挥的重要限

学位

海洋微型浮游生物铁限制模式氮限制模式破囊壶菌生物响应生态学分析

真空紫外辐照下烟气的同时脱硫脱硝研究

“十二五”规划对二氧化硫和氮氧化物的总量控制提出了更高的要求，目前应用广泛的单独脱硫脱硝方法或者工业化同时脱硫脱硝方法存在投资和运行费用高、效率低且有二次污染等问

学位

烟气治理真空紫外活性氧物种同时脱硫脱硝

压蒸法对集料碱活性检测的适用性研究

在人类发展过程中混凝土已逐渐成为人类社会生活、文化生活的基础。被喻为混凝土“癌症”的碱集料反应(AAR)是引起混凝土耐久性下降的主要原因之一。碱硅酸反应(ASR)，作为最主

学位

混凝土耐久性压蒸法集料碱活性检测微观结构集料尺寸

潮间带湿地底栖动物生物多样性特征与功能评价

潮间带湿地具有丰富的水文地理功能、生物地化循环功能和生境功能，对人类生产生活有重要的价值，是人类活动最为频繁的区域之一。过度的人类活动对潮间带湿地的自然功能造成了不

学位

潮间带湿地底栖动物多样性特征隶属度函数群落结构快速生物评价

藻源腥味物质的识别及产生规律研究

作为重要的饮用水水源，湖库水源中藻类增殖导致的饮用水嗅味问题已受到越来越多的关注，甚至已成为影响我国饮用水水质达标的主要原因之一。其中，对于湖库水源中由蓝藻代谢产生的

学位

水库鱼腥味感官气相色谱质谱嗅味物质识别

东江野生鱼体中典型持久性卤代烃的污染特征和人类食用风险评估

随着我国履行《关于持久性有机污染物的斯德哥尔摩公约》进程的加快,有机氯农药(OCPs)、多溴联苯醚(PBDEs)、多氯联苯(PCBs)等持久性有机污染物(POPs)造成的区域环境污染问题

学位

野生食用鱼有机氯农药多溴联苯醚生物富集健康风险评估有机污染物

城市大气中汞污染特征及部分非燃煤源释放汞特征

汞作为一种全球性环境污染物，大气环境中汞污染已日趋成为研究热点。本研究对上海市西南部的华东理工大学(ECUST)采样点进行气态总汞(TGM)和颗粒物中汞(PHg)采样，用金汞齐化-热

学位

汞污染特征颗粒物中汞生物质燃烧城市大气环境非燃煤源

低负荷A/A/O工艺优化运行模式的数值模拟研究

学位

BiOCl纳米结构的制备、修饰及其光催化性能

光催化技术具有能耗低，经济性好，安全无毒，无污染，氧化能力强，降解效率高等优点，是一种解决目前能源问题和环境问题的重要绿色方法，因而成为目前研究的热点之一，而其中光催化剂是光催

学位

氯氧化铋催化剂纳米结构溶剂热法表面修饰光催化性能

Fe掺杂a-CNx薄膜制备及性能研究

与本文相关的学术论文