飞秒激光微加工技术具有加工精度高,损伤阈值低以及能够实现真正的三维微结构加工等优点,这些特性是传统的激光加工技术所无法取代的。本论文首先回顾了超短脉冲激光技术发展的历史,然后介绍了飞秒激光的特点、飞秒激光技术的发展及应用,接着阐述飞秒激光与玻璃相互作用过程中的作用机理,如热积累效应和折射率改变、非线性吸收等基本原理。分析了常规波导和光子晶体波导的异同,并且着重讨论了光子晶体波导的传输特性。然后重点讨论飞秒激光直写光波导,利用实验室的飞秒激光在玻璃内利用热累积效应加工出串形柱状光波导,并用He-Ne激光(波长是632.8nm)对直写的光波导进行了光传播的测试。最后利用金相显微镜对光波导进行形貌分析,对飞秒激光加工光波导的性质、机理及形态结构进行分析和讨论,得到的实验结果同我们的理论分析是一致的。