在半导体制造业中,面对的是一个大功率、高温的工作环境,这时高频感应加热电源便是一个较好的选择。然而,一个常规的感应加热电源,其只有一个工作线圈或一组逆变器,由于感应加热线圈具有“端部效应”且根据磁、热场的特性可知,这往往无法给被加热工件提供均匀的温度,即不能在工件或其基座上产生均匀的或按期望要求分布的热磁场分布。　　另外,随着感应加热电源市场发展的愈加成熟,各种应用场合尤其是精密制造业对其亦提出了更高的期望和要求。为了能够尽量克服“端部效应”实现设备对于待加热工件的等温加热,本文引入“区域控制”这一概念。通过由多组逆变器连接多组感应线圈的方式,以及在“操作输入解耦(MID)”和“状态反馈解耦(SFBD)”的基础上控制不同逆变系统之间同频率、电流同相位运行,用以实现对加热工件的小区域加热效果。另外,针对感应加热系统参数的非恒定性,本文研究了采用全数字锁相环的频率跟踪方式的实现方法,保证感应加热电源的高效运行。　　本文在深入分析感应加热电源主电路结构以及控制方案的基础上,选择不控整流的逆变器PS-PWM调功的基于串联谐振的区域控制感应加热电源进行研究设计,并建立了系统的MATLAB控制仿真模型,绐出了仿真分析。　　本文此外还运用FLUX软件对区域控制感应加热下的工件的热磁场进行了仿真。最终的结果也证明了本文设计的感应加热电源的正确性和可行性。