随着超精密加工技术、半导体工业、MEMS和NEMS技术的发展,在纳米尺度内进行超精密表面形貌测量的需求越来越迫切。超精密表面形貌测量仪器必须具备垂直、水平方向上的高分辨率和较大的测量范围。文中系统论述了纵、横向分辨率均可达到纳米量级、测量范围可达到毫米量级的超精密表面形貌测量系统的创新设计和关键技术。主要研究内容和创新如下：提出了基于白光显微干涉的原子力探针扫描测量方法,该方法利用白光干涉零级条纹的特点,采用白光干涉零级条纹的移动量测量探针微悬臂的变形量。研究了白光干涉零级条纹中心线的提取算法以及白光干涉零级条纹中心线移动量算法,推导了探针微悬臂变形量与条纹移动量的关系,提出了微悬臂变形量检测非线性误差修正方法。研究了原子力探针扫描测量的基本理论,根据本测量系统的特点,提出了一种融合垂直扫描系统的位移量和微悬臂变形量得到被测表面形貌的原子力探针接触式工作方法,实现了原子力探针的可溯源跟踪测量。提出了基于同一显微镜基体实现非接触光学测量与原子力探针扫描测量两种功能的超精密表面形貌测量方法。该方法可以针对超精密表面不同的测量要求采用不同的测量方法,并可以对同一表面进行互补测量。基于上述超精密表面形貌测量方法和测量原理,研制了具有显微干涉测量与原子力探针测量两种功能的超精密表面形貌测量系统。研制了包括大量程计量型纳米级垂直扫描系统和大量程计量型纳米级共运动平面二维精密工作台的纳米驱动系统。研制了激光干涉位移计量系统,分析了采用四象限光电管接收激光干涉条纹时两路正弦信号满足正交的条件、在测量过程中干涉务的宽度与方向发生变化时引起的非正交误差以及影响激光干涉测量精度的因素,采用硬、软件结合法对由干涉信号误差引起的测量误差进行实时补偿。开发了超精密表面新貌测量系统软件,该软件可以实现原子力探针扫描测量,白光干涉垂直扫描测量,相移干涉扫描测量。本论文所提出的测量方法和研制的测量系统可用于超精密加工工程表面,光学表面以及微纳几何结构的测量。文中给出了精度实验结果及测量实例。