隧道式微加速度计信号处理电路的研究

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论文对隧道式微加速度计的信号处理电路进行了系统详细的研究,对采用PID方法实现闭环反馈系统的控制进行了探索性分析。考虑到敏感头结构对电路参数的影响,论文详细介绍了隧道加速度计敏感头及其接口电路的工作原理,重点分析了结构加工中隧尖高度、初始间距等关键结构参数对敏感头测试效果的影响;对加工成形的敏感头的结构参数和电学参数进行了测试;分析了敏感头在大气封装和真空封装下对电路设计的不同要求。论文的关键内容之一是设计信号处理电路完成微弱隧道电流的采集和测试输出。该部分详细描述了整体电路工作
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