【摘 要】
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CCD是现代光电子技术发展中最重要的研究成果之一,作为一种重要的光电探测器件,它的各项性能参数在很大程度上决定了探测系统的性能。因此,在研制探测系统等应用中,需要选择合适
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CCD是现代光电子技术发展中最重要的研究成果之一,作为一种重要的光电探测器件,它的各项性能参数在很大程度上决定了探测系统的性能。因此,在研制探测系统等应用中,需要选择合适性能参数的CCD芯片。但是,CCD生产厂家提供的性能参数指标并不一定等于CCD实际应用中所需要的性能参数指标。因此,需要设计研制出一套测量CCD芯片性能参数的系统,进而测量其性能参数,以实现CCD芯片的筛选和性能的评估。本文首先介绍了国内外CCD芯片性能参数测量研究的发展以及应用现状,之后描述了由欧洲机器视觉协会发布的用来测量CCD芯片性能参数的EMVA1288标准,以及测量各个参数的前提条件和测量原理。在此基础之上,设计论证了一套CCD芯片关键性能参数的测量系统,介绍了系统中各部分仪器工作的基本原理、作用以及其选型依据。最后参照标准中提供的测量方法,设计了相关性能参数的测量流程。该测量系统及其测量方法完全兼容EMVA1288标准,并且符合标准中规定的测量要求。
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