【摘 要】
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一直以来，传统的MEMS压阻麦克风始终存在一个灵敏度低、信噪比差的问题，其主要原因是压敏电阻采集到的应力较小。这使得MEMS压阻麦克风无法得到广泛的应用。本文介绍了一种新型
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一直以来，传统的MEMS压阻麦克风始终存在一个灵敏度低、信噪比差的问题，其主要原因是压敏电阻采集到的应力较小。这使得MEMS压阻麦克风无法得到广泛的应用。本文介绍了一种新型结构的MEMS压阻麦克风，通过采用专利号为61/239068的应力集中结构专利，解决传统MEMS压阻麦克风因应力集中问题而导致灵敏度较低的缺陷。在研究过程中，利用有限元法分别针对XI10工艺和理想条件进行了结构优化。模拟结果表明，应力集中结构可以增大压敏电阻采集到的应力，改善器件的灵敏度。通过上述一系列参数的优化，针对XI10工艺和理想条件分别确定了版图参数，预期压阻麦克风的灵敏度可达5.18mV/Pa，信噪比可达69dB。
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