【摘 要】
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微机械电子系统(MEMS)是包括了微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等的微型系统,MEMS技术是一门新兴的高科技前沿技术,其充分体现了各个学科领域交叉融合,在
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微机械电子系统(MEMS)是包括了微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等的微型系统,MEMS技术是一门新兴的高科技前沿技术,其充分体现了各个学科领域交叉融合,在现代微加工技术的基础上发展起来。微谐振陀螺采用MEMS技术加工,具有成本低,尺寸小、功耗低、可靠性高、且环境适应性好等优势,在军事领域以及民用领域中有着广阔的前景。在微谐振陀螺中,微半球谐振陀螺的工作原理是基于半球壳谐振子驻波振型的科氏力效应,通过体声波简并模谐振的驻波来提高器件的工作频率和品质因数,具有很多其他振动陀螺没有的高精度,高可靠性,抗辐射等特点。本文针对微半球谐振陀螺的特点,对其数字控制检测系统进行了探究,结合本实验室陀螺提出了一种闭环的实时数字控制检测系统,并进行了硬件构建设计,后续验证分析,结合MEMS微半球谐振陀螺仪器件测试得到系统指标,并通过漂移补偿算法进行了优化,为MEMS微半球谐振陀螺的控制检测提供一定的参考价值。
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