本文采用波长248nm准分子激光对ZrO₂、ZnO和SrTiO₃三种单晶进行辐照，分析了激光能量密度、激光脉冲个数和气氛等工艺参数对单晶表面浸润性的影响。结果表明：稳定后测试ZrO₂与水的静态接触角由辐照前的67°增加到151°，ZnO与水的静态接触角由辐照前的75°增加到121°，SrTiO₃与水的静态接触角由辐照前的69°增加到133°。结合XRD、SEM、AFM等分析手段以及Cassie-Baxter理论模型分析了激光辐照改变ZrO₂、ZnO和SrTiO₃单晶疏水性能的机理，我们认为248nm准分子激光辐照诱导单晶表面形成的微米或者微纳米粗糙几何结构是导致辐照后样品疏水性提高的主要原因。对激光辐照后的样品在气氛条件下退火后发现，在O2中退火样品接触角降低，而真空退火不改变样品表面浸润性。结果表明：表面吸附化学成分变化能够引起浸润性改变，但是具有强烈的时效性，而激光辐照引起的表面形貌改变对浸润性的影响是持久的。另外，采用波长248nm准分子激光和波长325nm He：Cd紫外连续激光作为光源，研究了ZnO和SrTiO₃单晶的光致亲水现象。分析表明：紫外激光诱导样品表面形成电子-空穴对，金属离子捕获电子产生缺陷位，结构中的O原子结合空穴形成O空位。O空位更容易吸附水分子中羟基基团，导致表面亲水。辐照停止后，空气中的O分子逐步取代羟基，表面恢复到初始状态。结合XPS测试，表面化学成分变化是亲水性增强的主要因素，但是这个过程不稳定，具有时效性。