透光隔热膜不仅要满足正常采光的要求,而且要有效阻隔红外光和紫外光,达到透光隔热的目的,其在汽车、建材等方面具有广阔的应用前景。本文基于增透薄膜理论,设计了Ag/TiO₂透光隔热复合膜,采用磁控溅射工艺在玻璃基底上制备了Ag/TiO₂复合膜,系统研究了膜层的厚度与制备参数、底层材料对复合膜透光隔热性能的影响,并优化出膜层的较佳制备参数。基于汽车玻璃膜对透光隔热的要求,提出了Ag/TiO₂复合膜的设计思路,采用TFCalc软件模拟其光学性能,得到了复合膜满足透光隔热要求的膜层较佳厚度为:Ag膜15nm,TiO₂膜20nm。研究了Ag膜的厚度对Ag/TiO₂复合膜透光隔热性能的影响规律。结果表明:随着Ag膜溅射时间的增加,Ag膜厚度增大,复合膜隔热温差增大,而可见光平均透过率呈现先增大后减少的变化规律。研究了TiO₂膜层的制备参数对Ag/TiO₂复合膜透光隔热性能的影响规律,并对制备参数进行了优化。结果表明:（1）可见光平均透过率和隔热温差随本底真空度、溅射时间、射频功率、氩气流量的增加先增大后减少;（2）制备参数对可见光平均透过率的影响程度由大到小的顺序依次为氩气流量、射频功率、溅射时间、本底真空度;（3）制备参数对隔热温差的影响程度由大到小的顺序依次为本底真空度、溅射时间、射频功率、氩气流量。（4）TiO₂膜层的较佳制备参数组合为:本底真空度4′10^-3Pa,射频功率150w,溅射时间15min,氩气流量20mL·min^-1。研究了底层材料对Ag/TiO₂复合膜透光隔热性能的影响规律。结果表明:（1）可见光平均透过率和隔热温差随SiO₂膜层溅射时间的增加先增大后减少,随TiO₂膜层溅射时间的增加先减少后增大。（2）Ag/TiO₂、TiO₂/Ag/TiO₂和SiO₂/Ag/TiO₂三种复合膜中,Ag/TiO₂复合膜的可见光平均透过率最高、隔热温差最大,分别为70.85%和5.20C,其透光隔热性能最佳。