相移干涉术中相移误差校正算法及应用研究

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相移干涉计量作为干涉计量的一种方法,人们对其进行了广泛的研究,提出许多新的相移实现方法和计算方法,由于它的测量精度高,可以准确地确定光场上任意点的相位,真正实现全场测量,受干涉图像的品质影响小,不受条纹形状的限制,速度快,可以实现实时测量等特点。已经成为干涉计量中的一种常规方法,被广泛地应用在各个领域,如三维形貌测量、数字全息显微术、粗糙度检测、图像的加密及水印技术等方面。在这种测量方法中相移的准确与否对测量结果的准确性有很大的影响,虽然已经出现了很多算法能够抑制相移误差,但这些方法都或多或少地有缺陷,要很好地消除相移过程中出现的相移误差对相位测量的影响,还存在一定的困难。本文介绍了一些常用的相位提取算法,并对各种算法进行了比较,提出了一种用余弦拟合求解相位分布的方法,将待分析全息图中相同区域的干涉条纹作比较、计算,求解出实际相位值和相移量,进而通过相位重构与相移误差之间的关系,给出修正计算公式,达到抑制相移误差导致的相位测量误差的目的。文章给出了新算法的计算公式,详细说明了相移误差的求解过程,给出了计算机模拟结果,并通过试验测量数据处理,验证了新算法的有效性。
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