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随着无线网络与传感器(MEMS)技术应用的蓬勃兴起,微纳系统的供电问题正成为制约MEMS技术发展的一大瓶颈,如何从环境中收集能量以对微纳系统进行供电正成为日益受到瞩目的研究热点。本文的主要内容如下：本文首先通过回顾压电效应的物理机制,研究了现有的几种较为成熟的压电能量收集器件的工作原理,并指出了各自器件的特点。然后,本文通过Comsol Multiphysics软件,使用了有限元仿真的方法,分别对基于ZnO的纳米线阵列结构、基于PZT的悬臂梁结构和基于P(VDF-TrFE)薄膜的压电能量收集器件在各