AZ系列镁合金阳极氧化膜的半导体特性研究

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镁合金具有密度小,比强度、比刚度高,电磁屏蔽性、减震性好等优点,应用前景广阔。但镁合金的耐腐蚀性较差,制约了其更广泛的应用。镁合金阳极氧化是一种行之有效的提高镁合金耐腐蚀性能的表面处理方法。  论文以半导体理论为基础,采用电化学测试方法并结合Mott-Schottky分析和阻抗特性分析,研究了AZ31、AZ61、AZ91等AZ系列镁合金基体及其阳极氧化膜在电解质(阳极氧化液、3.5%氯化钠)溶液中的半导体特性及其耐蚀性,为镁合金阳极氧化方法的改进奠定基础。  AZ31镁合金阳极氧化膜在3.5%NaCl溶液中不同频率下的Mott-Schottky曲线显示,1kHz以下低频区,耗尽层的Mott-Schottky曲线斜率随频率的增加而增大;1kHz以上高频区,随着频率的增加,电容值趋于稳定。AZ系列镁合金基体及其阳极氧化膜在阳极氧化液中的半导体特性表明,AZ91氧化膜的Mott-Schottky曲线斜率最大,施主浓度(ND=0.229×1018cm-3)最小,平带电位(EFB=-1.580V)最负,耐蚀性最好。AZ系列镁合金基体及其阳极氧化膜在3.5%NaCl溶液中的半导体特性表明,三者都随极化电位变化均由n-型转变为p-型半导体;AZ91氧化膜的Mott-Schottky曲线斜率最大,施主浓度(ND=0.911×1018cm-3)最小,平带电位(EFB=-2.105V)最负,阳极氧化膜耐蚀性优于其他两种,与AZ91基体耐蚀性正好相一致。在电流密度10mA/cm2、氧化时间20min、电解液温度20℃的工艺条件下的AZ31阳极氧化膜Mott-Schottky曲线斜率最大,施主浓度(ND=1.531×1018cm-3)最小,平带电位(EFB=-2.002V)更负,Cl-吸附及渗透最困难,阳极氧化膜耐蚀性最好。  XRD分析得知AZ31基体由α-Mg相组成,AZ61及AZ91基体均由α-Mg相和β-Mg17Al12相组成,阳极氧化膜则主要由镁橄榄石Mg2SiO4和MgO相组成。根据点缺陷模型(PDM)理论提出了镁合金阳极氧化膜腐蚀机制,即膜层/溶液界面处氧空位的存在使镁合金阳极氧化膜的半导体行为发生变化。
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