硅化钛纳米线电极对PST薄膜形成与介电可调性影响研究

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【摘要】

：

AB03型钙钛矿结构铁电薄膜由于具有独特的介电、压电、热释电及铁电性能,在很多领域中有着广泛的应用前景。(Pb,Sr)TiO3(PST)铁电薄膜由于具有很好的介电可调性,是当前介电可调薄膜的研究热点之一。然而,对于介电可调薄膜来说,要想获得最大介电调制,必须施加足够高的调制电压来产生高调制电场,但对于电子元器件来说工作电压不宜太高。同时,随着电子器件的微型化和集成化,对介电可调薄膜性能的要求也越来

【作者】

：

方骏飞

【机构】

：

浙江大学

【发表日期】

：

2012年03期

【关键词】

：

钛酸锶铅射频磁控溅射硅化钛纳米线化学气相沉积介电可调边缘电场

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