【摘 要】
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ZnO是一种新型的Ⅱ-Ⅵ族宽禁带化合物半导体材料,不仅光电性能优异、化学稳定性好、热稳定性高,且易于掺杂形成性能更为优异的材料,因而在太阳能电池、液晶显示器、短波长发光器件等领域具有广阔的应用前景。ZnO薄膜的制备技术有多种,相比较而言,溶胶-凝胶(sol-gel)法具有成膜均匀性好、与衬底附着力强、易于原子级掺杂及工艺简单等优点。本论文采用溶胶-凝胶法,用旋转涂覆技术在玻璃基底上进行了掺钇氧化锌
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ZnO是一种新型的Ⅱ-Ⅵ族宽禁带化合物半导体材料,不仅光电性能优异、化学稳定性好、热稳定性高,且易于掺杂形成性能更为优异的材料,因而在太阳能电池、液晶显示器、短波长发光器件等领域具有广阔的应用前景。ZnO薄膜的制备技术有多种,相比较而言,溶胶-凝胶(sol-gel)法具有成膜均匀性好、与衬底附着力强、易于原子级掺杂及工艺简单等优点。本论文采用溶胶-凝胶法,用旋转涂覆技术在玻璃基底上进行了掺钇氧化锌(YZO)薄膜的制备、掺杂等相关内容研究。主要研究了陈化时间、掺杂浓度、预处理温度、退火温度
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