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随着小型化和可穿戴式电子产品的不断发展,人们对微型存储系统的需求日益迫切。平面超级电容器在保证高储能密度、高充放电速率和良好循环稳定性的基础上,可与便携式电子产品高度兼容,实现了微型储能器件功能集成化的要求。石墨烯是由sp2杂化碳原子结合形成的单原子层二维薄膜,作为凝聚态物理领域的新成员,因其独特的力学性能和电学性能,能够满足储能器件对电极材料的所有要求。本文基于化学气相沉积法原理,通过探究不同生长条件对石墨烯薄膜质量的影响,得到最佳制备工艺参数。实验结果表明:在低压条件下,石墨烯随着生长时间、生长