在铜基底上镀制Ni/Cr复合膜的设备与工艺研究

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长期以来,我国的水暖元件表面镀Ni/Cr装饰膜系的工艺一直采用电镀技术。年产量很大,产品远销国外。但是电镀具有无法消除的致命缺点,“三废”污染严重,毒性太大,严重影响着我国的环境,对人们的健康也带来了极大的威胁。在此情况下,开发电镀技术的替代工艺,即以一种无污染的工艺技术,进行水暖件产品表面装饰膜的镀制,就显得十分必要和迫切。而采用真空技术镀装饰膜,就可以做到无污染生产,达到环境保护的目的。在本文合作单位原有的Ni、Cr薄膜真空实验工艺研究的工作基础上,将各种镀装饰膜的真空方法进行比较后,改装了共溅射磁控镀膜机,采用共溅射技术镀制梯度膜进行实验。很好地解决了普通磁控溅射不同材料之间的结合力和内应力问题,通过对膜层性能的检测分析,对工艺参数进行了优化,取得了比较理想的实验结果,并申请了专利。论文中用FEMM软件模拟空间磁场,观测等离子体,验证模拟结果。用共溅射方式镀制梯度膜层,并检测。结果表明,使用共溅射方法镀的梯度膜光泽度好,表面细腻光滑,可以达到装饰膜的要求。而且,通过盐水喷雾试验发现,该复合工艺镀的Ni/Cr装饰膜即使在膜层很薄的情况下,也有着优良的耐腐蚀性,耐腐蚀性达到113小时。SEM照片显示镀制的膜层没有空隙,EDS显示膜层的成分在一定范围内成梯度变化,XRD检测形成了合金晶体,该实验工艺基本达到了要求。
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