【摘 要】
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利用磁控溅射技术在Ti6Al4V基体表面成功制备了HA／YSZ梯度复合涂层，涂层由5层组成，从基体表面开始，每层成分依次为2HA／8YSZ、4HA／6YSZ、6HA／4YSZ、8HA／2YSZ和纯HA（上述HA和YSZ以质量百
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利用磁控溅射技术在Ti6Al4V基体表面成功制备了HA／YSZ梯度复合涂层，涂层由5层组成，从基体表面开始，每层成分依次为2HA／8YSZ、4HA／6YSZ、6HA／4YSZ、8HA／2YSZ和纯HA（上述HA和YSZ以质量百分含量计算），五层涂层依次用相同的工艺溅射。通过合理选择溅射工艺参数的优化后处理工艺，制备得到了成分均匀分布、界面结合力较高、生物活性优良的HA／YSZ生物活性梯度复合涂层。利用X—射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）、原子粒显微镜（AFM）、红外光谱（IR）、电子探针（EMPA）、划痕仪等多种现代分析手段，研究了HA／YSZ梯度复合涂层的物相组成、表面和界面微结构、力学性能以及后处理工艺对涂层物相和微结构的影响，同时分析了HA／YSZ梯度复合涂层在模拟体液（SBF）条件下生物活性及其机理。 采用溶胶—凝胶法制备微纳米级HA粉体以及HA／YSZ复合粉体。实验检测结果显示以磷酸三甲脂[（CH3O）3PO4]和硝酸钙[Ca（NO3）2．4H2O]为原料，采用溶胶一凝胶法，聚乙二醇为表面活性剂，静置过程对溶胶进行机械搅拌和超声振荡，可以制备出物相较纯、粒度均匀的HA粉体，粉体以短棒状为主，颗粒长度约为80nm，宽度约为20nm。 粉体利用热压烧结法制备溅射靶材。合理控制烧结工艺，可以制备得到成分与原始粉体一致的靶材。靶材致密较高，满足溅射用靶材的质量要求。 对溅射和后处理涂层XRD物相检测结果发现，用磁控溅射法制备的涂层HA为非晶结构；大气条件下对涂层600℃×4h热处理后，可恢复HA的结晶度。EDX检测涂层表面特定点的n（Ca）／n（P）比约为
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