柔性衬底上ZnO基透明导电薄膜的生长和性能研究

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【摘要】

：

ZnO薄膜是继铟锡氧化物(ITO)薄膜之后,新开发出来的一种新型的宽禁带、在可见光光区范围内具有高透射率和低电阻率的n型半导体透明导电薄膜。ZnO薄膜的低阻特性使其成为一种重要的电极材料。而高透光率和大的禁带宽度使其可用作太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导器材料等。Zn_(1-x)Mg_xO三重合成合金是基于ZnO、MgO的理想透明导电氧化物(TCO),也是新型光电子信息材料,与ZnO、MgO相比

【作者】

：

袁伟

【机构】

：

浙江大学

【发表日期】

：

2010年02期

【关键词】

：

脉冲激光沉积技术柔性衬底 ZnO:Ga 透明导电薄膜

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