微流控光学变焦透镜阵列芯片的性能表征与检测

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随着微流控技术水平的不断提高,微流控光学技术已展示出其在光信息领域的广阔实用价值。微流控光学变焦透镜阵列结合光学阵列与电控的特性,基于介质上电润湿原理,突破了传统变焦透镜通过移动镜头来调整焦距的局限,可以改变微光学系统的光通量和视场性能,具有良好的操控性和适应性,扩展延伸了透镜阵列的应用范围,实现阵列维数的实时调控和任意的光路传输功能。本文主要在课题组提出的微流控光学变焦透镜阵列的研制的基础上做了以下的工作:   1)利用介质上电润湿原理,设计了EWOD测量系统,结合图像处理方法,得到了导电液滴在固体介电层上的接触角,并利用Young-Lippmann方程提出了一种测量导电液体的表面张力的新方法,为新型微流控光学变焦透镜阵列器件的优化设计和研制提供重要的实验依据。   2)阐述了研究微流控光学变焦透镜阵列芯片表面的光洁程度的意义,介绍了表面光洁程度的检测方法,设置了具体的测量装置,提出了芯片表面光洁程度的度量方法。   3)根据制作的微流控光学变焦透镜阵列,利用电湿效应,推导了单个双液体透镜的焦距与外加电压的关系,并采用放大率法实验测量了微透镜的焦距,最后对二者进行了分析与讨论。
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