【摘 要】
：
薄膜器件是激光系统中的重要元件之一,其质量及性能的优异是保证激光系统正常运行的关键。离子束辅助沉积是真空热蒸发基础上发展起来的一种沉积技术,目前已经广泛应用到激光薄膜的制备中。本文主要研究薄膜沉积的各个阶段离子束对成膜特性的影响。分别在镀前、镀中及镀后用离子束轰击基片或膜层:(1)沉积前,研究了离子束基片清洗对成膜特性的影响;(2)沉积过程中,研究了薄膜光学及激光损伤特性随离子能量及成膜环境的变化
论文部分内容阅读
薄膜器件是激光系统中的重要元件之一,其质量及性能的优异是保证激光系统正常运行的关键。离子束辅助沉积是真空热蒸发基础上发展起来的一种沉积技术,目前已经广泛应用到激光薄膜的制备中。本文主要研究薄膜沉积的各个阶段离子束对成膜特性的影响。分别在镀前、镀中及镀后用离子束轰击基片或膜层:(1)沉积前,研究了离子束基片清洗对成膜特性的影响;(2)沉积过程中,研究了薄膜光学及激光损伤特性随离子能量及成膜环境的变化;(3)沉积后,研究了离子束后处理对薄膜质量的影响;(4)设计并制备了窄带滤光片,研究离子束后处理技术对滤光片的影响。研究结果表明:1)基片清洗时间过长会降低后续沉积薄膜的折射率,并使薄膜表面粗糙度Ra由清洗前的0.78nm增大到清洗后的0.79nm,当清洗时间一定时,随着清洗能量的增大,后续沉积薄膜的折射率增大,表面粗糙度减小。当清洗基片采用的离子能量为1350e V时,后续沉积薄膜的折射率从2.3671提高到2.4664(532nm),其Ra值从0.78nm减小到0.60nm。基片经离子束清洗后镀膜得到的薄膜激光损伤阈值可提高3.8倍。2)离子束辅助沉积过程中,薄膜折射率与离子束流密度,离子能量等因素密切相关,离子能量过高会使薄膜激光损伤阈值有下降趋势。薄膜激光损伤阈值的提高受离子能量的影响,当离子束能量为800e V时,薄膜的激光损伤阈值为7.6J/cm~2,较辅助前提高了26.63%,但当能量增大到950e V时,薄膜的激光损伤阈值为5.6J/cm~2,较辅助前降低了6.7%。通过对不同真空度条件下薄膜性能的检测,发现薄膜折射率以及激光损伤阈值在高真空条件下普遍较低。通过对80℃、140℃和180℃沉积温度下薄膜的表面粗糙度Ra进行测试,发现随着沉积温度的升高,薄膜的Ra值由0.64nm、0.76nm升高到1.66nm,在高温高能量环境下得到的薄膜其激光损伤阈值较高,最高为8.8J/cm~2。3)离子束后处理可以提高薄膜的折射率,高能离子轰击下,薄膜表面粗糙度明显减小,可下降到1.12nm。发现离子源栅网材料会影响薄膜的质量,用铝栅网替换钼栅网后,薄膜的表面粗糙度Ra可下降到1.07nm,铝栅网条件下,离子束后处理可提高薄膜的激光损伤阈值,最高提高到9.1J/cm~2。离子束后处理比激光后处理更有利于提高薄膜的激光损伤阈值,激光后处理更有利于减小薄膜的表面粗糙度,当激光辐照能量为4.8m J时,薄膜的表面粗糙度Ra可减小到0.43nm。4)用离子束辅助沉积了膜系结构为:G|(HL)~2H2LH(LH)~2L(HL)~2H2LH(LH)~2|A的滤光片,得到薄膜的峰值透过率为74.95%(1038nm)。通过离子束后处理,滤光片的透过率没有提升,但峰值向长波方向漂移了5nm,离子束后处理可以使滤光片的激光损伤阈值提高15.44%。同时发现离子束辅助沉积的滤光片膜层牢固度较高,不易脱落。
其他文献
缔约过失与欺诈之关系究竟为何,关键在于过失违反先合同说明义务情形下的救济路径的选择。这也是本文需要处理的核心问题。首先通过对德国以及国内对缔约过失与欺诈之关系探
目的:以糖尿病肾病为研究对象,调控足细胞自噬进程为切入点,分析肾络宁对DN足细胞损伤修复调控的影响及其作用机制。方法:1观察肾络宁对DN病变进展的干预效应。将实验大鼠随机分为对照组10只、造模组20只。造模组以尾静脉单次大剂量注射链脲佐菌素,协同隔日高糖高脂饲料喂养4周诱导DN模型,造模成功后随机分为模型组和中药组各15只。于中药治疗后第0、3、6周末,分别取血检测各组大鼠血糖(FBG)、血清白蛋
固体金属矿山是自然-人造景观-社会-经济复合的受损的开放的生态系统,矿山生态修复是全球矿山研究的热点之一。金属矿区土壤是生态环境系统中最重要组成部分,对金属矿区土壤类型、成壤过程和成壤机制的研究,具有重要科学及应用价值。本文选取云南东川稀矿山铁铜矿区玄武岩风化壳剖面为研究对象,通过主量元素、微量元素、稀土元素、粒度和磁学特性研究,揭示土壤成壤过程和成壤机制,取得新认识主要如下。(1)从母岩(R)→
肺癌是最常见的呼吸系统肿瘤。根据生物学特性,临床治疗常将肺癌分为两大类:小细胞肺癌和非小细胞肺癌。磷脂肌醇 3-激酶(phosphoinositide-3 kinase,PI3K)-蛋白激酶 B(protein kinase B,PKB,又称 AKT)-雷帕霉素靶蛋白(mammalian target of rapamycin,mTOR)信号通路与肿瘤的凋亡、自噬、转移等多个方面密切相关。近年来的
新型智库建设是党中央和国务院的新要求,更是为治国理政服务的重要方面,开展咨政能力提升研究是新型智库建设的必然要求,也是作为地方智库的地方社科院自身发展的需要,更是服
在上世纪70年代,项目贷款作为一种新的融资方式在国际金融市场中出现并运用。经过几十年的发展,项目贷款已经成为一种比较成熟的融资方式,并且被充分应用于各个行业,特别是大型基础设施项目中,大都采用项目贷款的方式。而近年来我国经济发展较快,资本市场改革也逐渐深入,政府大力进行基础设施建设,项目贷款成为商业银行信贷业务的重要组成部分。然而,与商业银行其他贷款相比,项目贷款具有自身的特点,在贷款主体、项目本
动词是人类传递思想信息和描写动作事件的核心意义单位,一直以来都是语言理论研究的重点。动词语义内容多样,句法表现形式丰富,它的语义、句法表现制约着句中其他成分甚至整个句子思想信息的传达,在句子语义—句法关系中占据主导地位。因此,结合动词的语义、句法功能和特点,对动词进行深入、细致的分析和描写成为动词语义研究的重要任务。本文以俄语“损毁”类动词为对象,通过语义次范畴建构及其语义配价分析、句法特征描写,
目的:应用三维斑点追踪成像(three-dimensional speckle tracking imaging,3D-STI)技术对比研究左心室收缩功能正常的狼疮肾炎患者和单纯狼疮患者早期心肌力学变化特点。方法:选取2018年12月至2019年12月川北医学院附属医院风湿免疫科检查并确诊系统性红斑狼疮(systemic lupus erythematosus,SLE)患者60例,其中男性9例,女
金龟子绿僵菌(Metarhiziumanisopliae)是一种广谱的昆虫病原真菌,具有不污染环境,无残留,对人畜无害等优点,被认为是一种环境友好型生物杀虫剂。不利的环境条件如紫外线、高温等会影响微生物制剂的功效。在野外试验中,紫外线和高温降低了孢子的存活率和毒力,从而阻碍了金龟子绿僵菌分生孢子的作用。若能够提高金龟子绿僵菌的产孢量,紫外抗性等性能,将有助于保持分生孢子的活力,萌发能力和毒力,提高
目的:通过对人视网膜色素上皮(Human retinal pigment epithelium,ARPE-19)细胞培养的体外实验,探讨外泌体信号通路对视网膜色素上皮(retinal pigment epithelium,RPE)细胞自噬标志性蛋白LC3-Ⅱ及其mRNA、下游因子P62蛋白表达的调控,和与自噬密切相关的补体因子C5b-9蛋白、C3a的mRNA表达水平,在此基础上对照观察杞黄颗粒的干