【摘 要】
：
该文采用光Ⅰ-Ⅴ法、雪崩热电子注入、俄歇电子能谱(AES)分析和红外光谱分析研究等离子体化学相淀积方法(PECVD)低温制备的富氮SiON薄膜的微观物理结构、光学特性和电学特性.
论文部分内容阅读
该文采用光Ⅰ-Ⅴ法、雪崩热电子注入、俄歇电子能谱(AES)分析和红外光谱分析研究等离子体化学相淀积方法(PECVD)低温制备的富氮SiO<,x>N<,y>薄膜的微观物理结构、光学特性和电学特性.研究得出,PECVD方法形成的SiO<,x>Y<,y>的结构是Si-SiO<,x>N<,y>四面体无序网络结构,薄膜组分与反应气体比例、反应气体压强和补底温度有关.PECVD法低温制备的介质膜体电荷陷阱比单纯热氧化介质膜的体电荷陷阱降低了几倍,但它们仍处于同一数量级;PECVD法低温制备的介质膜体电荷陷阱平均分布中心有向M-SiO<,x>N<,y>界面移动的倾向,但两者介质膜体电荷陷阱都在介质膜中央附近;通过实验研究人员还证明了准分子激光器用于Ⅰ-Ⅴ法测量的可行性,提出实验光源光子能量的可行性方法.
其他文献
Backprojection雷达成像算法是合成孔径雷达成像算法中的一种,该算法能在高分辨率、大前斜视角、低频以及大孔径积分角的情况下成像。算法主要包括脉冲预处理和脉冲反投影两
首先,该论文综述了目前波分复用技术的发展状况及其对解复用接收器件的要求.其次,应用薄膜光学理论,提出了了一种新的普遍适用的矩阵模拟分析方法.第三,在研制成功了GaAs/AlG
白内障手术可以影响糖尿病性眼病的进展,但有时手术是必须的,手术治疗可以帮助人们恢复健康从而恢复有效工作能力.rn糖尿病是一种由于胰岛素分泌不足(1型)或作用不足(2型)而
该论文以钙钛矿ABO钛酸盐铁电材料为研究对象,以制备均匀成分的铁电薄膜为基础,以成分度铁电薄膜的研究为中心开展工作,通过使薄膜的A位和B位成分分别形成梯度分布,制备了相
该文在分析比较几种实验设计方法后提出用2中心复合设计方法进行实验设计.然后根据国内微电路生产的实际情况,以硼矿再分布工艺为例,采用响应曲面建模方法建立工艺模型,得到
目的：建立复方萘普生钠盐酸伪麻黄碱缓释片的质量科学的分析方法；筛选出最优处方；并进行稳定性考察。 方法：本文建立的高效液相色谱法和紫外分光光度法可以有效用于萘普生钠、
阵列波导光栅AWG波分复用/解复用器由于其具有复用、解复用、光路上下复用及波长路由四种功能利于集成,成为波分复用系统及全光网络道选的器件之一,对其研究从而成为热点,作
该文的研究拓展了溶胶-凝胶工艺在材料制备中的应用.该文针对气敏元件向薄膜化 、小型化、高灵敏度方向发展的趋势,采用新颖的非醇盐溶胶-凝胶工艺制备出纳米微晶二 氧化锡薄
该文提出了一个基于隐性马尔可夫模型(HMM)的发话者自适应极低比特率语音编码系统.每个语音单元的韵律倒谱系数矢量序列是用音素HMM模型来建模的.首先,介绍了作为该系统基础
光滤波器作为一种具有波长选择功能的器件，通过抑制带外光谱，可以实现噪声的有效抑制，是光通信与光传感探测系统中的关键器件之一。可用于半导体激光器的窄带滤波、光放大器中的