利用金属有机化合物气相外延(MOVPE)设备进行了GaP/GaAs、AlGaP/GaAs、AlGaP/GaP/GaAs、ZnO/GaAs、ZnO/Si等本征或掺杂异质结构材......

现在人们研究的非平衡等离子体大多是在低气压（1.33 Pa～1.33 kPa）、低质量流量条件下,由射频（13.5 MHz）、微波（2450 MHz）以及交、直流高电......

阐述对半导体行业等离子化学气相淀积设备干扰的基本发生源头，干扰现象以及设备维修人员在维修过程中抗干扰应采取的措施。......