【摘 要】
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随着近年来微芯片高度集成化、设备微型化、操作精密化等新趋势的日益明显以及微电子、生物医学等纳米技术相关学科的蓬勃发展,使微/纳米技术已经成为对国民经济具有重大影响的一项关键技术,成为国内外关注的热点。本文从全柔性微位移放大模块的运动学、理论刚度建模方法、结构参数化设计以及智能优化算法研究等方面,对微定位机构进行了较为细致与系统的分析。具体研究内容如下:(1)基于伪刚体模型法将全柔性微位移放大模块进
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随着近年来微芯片高度集成化、设备微型化、操作精密化等新趋势的日益明显以及微电子、生物医学等纳米技术相关学科的蓬勃发展,使微/纳米技术已经成为对国民经济具有重大影响的一项关键技术,成为国内外关注的热点。本文从全柔性微位移放大模块的运动学、理论刚度建模方法、结构参数化设计以及智能优化算法研究等方面,对微定位机构进行了较为细致与系统的分析。具体研究内容如下:(1)基于伪刚体模型法将全柔性微位移放大模块进行伪刚体化,并建立此机构较为精确的运动方程。(2)分析并比较两种理论刚度建模方法
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