【摘 要】
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主动隔振器是超精密测量仪器正常运行的重要保障,隔振器通过衰减来自地基的振动保证工作台的稳定。主动隔振器抑制的地基振动具有频带宽、幅值小、振源复杂等特点,因此要求主动隔振器起始隔振频率低,中高频衰减能力强。在主动隔振器中,一般采用前馈与反馈结合的控制方式,其中反馈控制主要是抑制谐振峰,前馈控制能降低隔振器起始隔振频率,增加中高频衰减能力。所以本文旨在设计性能优越的前馈控制器来降低隔振器起始隔振频率,
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主动隔振器是超精密测量仪器正常运行的重要保障,隔振器通过衰减来自地基的振动保证工作台的稳定。主动隔振器抑制的地基振动具有频带宽、幅值小、振源复杂等特点,因此要求主动隔振器起始隔振频率低,中高频衰减能力强。在主动隔振器中,一般采用前馈与反馈结合的控制方式,其中反馈控制主要是抑制谐振峰,前馈控制能降低隔振器起始隔振频率,增加中高频衰减能力。所以本文旨在设计性能优越的前馈控制器来降低隔振器起始隔振频率,增加中高频衰减能力。本文以空气弹簧主动隔振器为研究对象,建立主动隔振器初级通道动力学模型和次级通道动力学
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